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半导体/电子厂房洁净室的控制

根据半导体/电子行业的洁净控制要求来看，控制的主要污染源为环境含尘量，在洁净技术方面，可采取三种综合性措施：

1、空气过滤

一般的洁净室空气处理系统采用三级处理过程。级——粗效过滤器，用于保护空调器不受污染；第二级——采用中效过滤器保护风管的洁净度；第三级——采用过滤器保证高质量的空气直接进入洁净室。

2、 采用适当的气流类型

气流类型一般有两类，一类为单向流，常称作层流；另外一类为为非单向流，也称作紊流；可根据不同的需求，进行不同的控制。

3、保证各室之间的压差

一般来说，小于5Pa的压差是毫无意义的，因为难以阻止空气回流；压差大于20Pa（隔离工艺处外）是不合理的，因为并不能改善洁净室的特性，反而形成浪费，故而，压差在5～20 Pa范围内即可，不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区的压差应不小于5Pa,洁净区与室外的压差，应不小于10Pa，特殊要求除外。无尘车间需要安装什么净化设备1、进入无尘车间之前***入缓冲区，缓冲区门装置电子互锁，更衣处放置洁净储衣柜，空气清新机。

另外，通风空调系统在洁净室工作中起着关键的作用，决定着系统功能与是否与设计的生产相符合，具体设计应按具体情况在小的***和运行费用的前提下编制方案。所有的运行控制皆应按照上述四个方面进行。

济南兰桥净化工程有限公司

那么，如何防止交叉污染呢?2002年实施的《无尘车间设计规范》明确指出，无尘车间“工艺平面布置应合理、紧凑。食品厂净化车间的设置常识|济南兰桥净化一、车间内的生产线要短，淘汰迂回和交错，克制各个生产工序的相互影响。无尘车间或洁净区内只布置必要的工艺设备以及有空气洁净度要求的工序和工作室”。合理布局首先要理顺工艺流程，避免迂回往返。工作室的平面空间应合理，既有利于操作，又便于维修，不应预留闲置面积和空间。合理的空间与面积，也有利于合理的分区，防止混杂事故。

3、为减少灰尘的来源, 上下技术夹层内所有表面彻底清洁是必要的, 也建议在开工前或期间, 以免工作期间引起震动影响无尘室尘量。 对千级以上的无尘车间, FFU内部也应彻底定期清洗。

4 、压差控制是一项关系重大的工作, 频繁测试工作量大, 完全根据经验和感觉不可取, 建议采用AHU电动风量调节阀。超过滤器终阻力达到400-600Pa建议过滤器应更换, 其他下列情况发生，空气过滤器也应予更换

高安全性：统一协调了各个设备供应商、工程承包商和服务提供商，把与整个净化无尘车间-生物安全实验室建设过程相关联的多个环节、合作伙伴统一协调起来。2、仪器分析实验室的组成仪器分析实验室组成包括分析仪器室、样品处理室、暗室、研究室、更衣室、机房等。整个净化无尘车间-生物安全实验室建设过程都是在公司的统筹安排下进行，统一了各个方面的意见，消除了因意见不统一造成设计、施工过程中各自为证，导致建设过程出现安全隐患、返工等的弊病，保证了净化无尘车间-生物安全实验室的严密性，使其能长期安全运行。